DLCコーティング

DLC一般的性質

・高硬度で優れた耐摩耗性
・低い摩擦係数
・摺動時、相手材を摩耗、損傷させない(低相手攻撃性)
・化学的に安定、焼付き、凝着、溶着を起こさない
・腐食性雰囲気中でも侵されにくい
・すぐれた生体親和性(アレルギーを起こしずらい)
・離形性・防汚性を有する

DLC成膜適応例

DLC成膜適応例

DLC成膜一例

DLC成膜一例

低温・大型・ムラの無いコーティング技術

・低温(150°以下)プラズマ処理(下地から成膜まで低温処理な為、ワークへの熱影響が少ない)
・大型チャンバーによる大量処理が可能(量産性)
・複雑な形状にもムラ無く均一にコーティングが可能
・プラズマイオン注入法によって密着性を高める
・成膜のバラツキを低減する技術(ナノオーダー)
・フッソ含有ガスドープ処理による撥液性機能付加

いコーティング技術

大型チャンバー

大容量( 1,400×1,700mm可能)他社:500mm□ 程度

いコーティング技術